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cmp抛光技术「CMP无损抛光法宝研磨液Slurry」
研磨液CMP全称为Chemical-Mechanical Planarization,直译过来就是“化学机械平坦化”的意思。研磨液,英文名称为Slurry,也可以译为“悬浮液”,指固体颗粒搅拌到水中,不被溶解且分散在液体其中,一旦混合物停止震荡时就会沉淀下来,是一种不均匀的、异质的混合物。悬浮液中的颗粒最终能否完全沉降到底部,涉及到以下几个因素:•液体表面的张力•液体分子热运动-基本上来说都是水•固体颗粒的大小当固体颗粒的体积以及密度达到足够小的时候,液体表面就会具有较高的张力,因此形成了一种相
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